Kas yra ULPA filtras? Kuo jis skiriasi nuo HEPA ir kur jis iš tikrųjų priklauso

ULPA filtras yra itin-mažos prasiskverbimo oro filtras, klasifikuojamas pagal EN 1822 U grupę. Klasės ribos yra šios:

•U15: integruotas efektyvumas didesnis arba lygus 99,9995 %

•U16: integruotas efektyvumas didesnis arba lygus 99,99995 %

•U17: integruotas efektyvumas didesnis arba lygus 99,999995 %

Tai yra formali klasifikavimo pusė. Rinkoje taip pat pamatysite ULPA gaminius, apibūdinamus kaip 99,9995 %, esant 0,1–0,2 μm arba maždaug 0,12 μm, ypač švarių patalpų plokščių gaminiuose, skirtuose elektronikai. Pavyzdžiui, mažo-boro ULPA produktas, skirtas puslaidininkiams, paskelbtas 99,9995 % @ 0,1–0,2 μm, o daugelyje palyginimo vadovų naudojamas 0,12 μm kaip praktinis ULPA diskusijų dydis.

Kai pirkėjai klausia apie U15 filtro efektyvumą, jie dažniausiai nori trumpos versijos:

•U15 yra ULPA klasė

•Pagal EN 1822, jo efektyvumas yra 99,9995 %

•produkto literatūroje jis dažnai aprašomas apie 0,1–0,2 μm

• Filtravimo efektyvumas viršija H14, o pradinis atsparumas ir kaina taip pat paprastai viršija H14

Mūsų inžinieriai dažnai mato, kad pirkėjai maišo tris skirtingas sistemas:

•ISO 16890 / senasis EN 779 bendriesiems vėdinimo filtrams

•EN 1822 / ISO 29463 EPA, HEPA ir ULPA

• lauko terminai, pvz., „medicininis HEPA“ arba „švarios patalpos ULPA“

Nelyginkite aG4, MERV 8 arba ePM1 filtrasį aU15 skydelistarsi jie priklausytų tam pačiam sprendimų medžiui. Jie to nedaro. ULPA priklauso absoliučiai -filtrų rinkai

Lengva nustatyti pagrindinį efektyvumo spragą. Sunkiausia yra paaiškinti, ką ta spraga daro sistemai.

Pagal EN 1822:

H13:Didesnis arba lygus 99,95 %

H14:Didesnis arba lygus 99,995 %

U15:Didesnis arba lygus 99,9995 %

U16:Didesnis arba lygus 99,99995 %

U17:Didesnis arba lygus 99,999995 %

Tai reiškia, kad aULPA prieš HEPA filtrassprendimas yra ne tik „švaresnis oras“. Paprastai tai paveikia:

Pradinis slėgio kritimas

ventiliatoriaus pasirinkimas

FFU arba terminalo modulio energijos naudojimas

pakeitimo intervalo ekonomika

nuotėkio{0}}testas ir kvalifikacijos lūkesčiai

ar procesas tikrai naudingas paskutinei efektyvumo daliai

Šis kompromisas{0}}dažnai aiškiai parodomas puslaidininkių švarios patalpos produktų linijose. Jų mikroelektroninės plokštės yra H14 ir U15-U17 dydžių, pabrėžiančios mažą slėgio kritimą, ypač-mažą dujų išsiskyrimą ir tinkamumą mikroelektroninėms švariosioms patalpoms ir įrangai. Tai puikiai iliustruoja, kad įėjus į puslaidininkinio oro filtravimo sritį, diskusijos nebėra tik apie kietųjų dalelių pašalinimą, bet ir visapusišką dalelių kontrolės, molekulinio lygio švaros ir energijos suvartojimo svarstymą.

Paprastas-angliškas būdas pažvelgti į tai

HEPA dažnai yra teisingas atsakymas, kai kambarys yra sukurtas atsižvelgiant į infekcijų kontrolę, produktų apsaugą arba aukštą švarą be ypatingo dalelių jautrumo.

ULPA yra teisingas atsakymas, kai procesas yra jautrus mažesnėms dalelėms, mažesniam defektų tolerancijai ir daug griežtesniems švarių patalpų taikiniams.

Štai kodėl toks bendras teiginys kaip „ULPA yra geresnis“ nėra naudingas. Daugelyje projektų ULPA yra geresnis tik tuo atveju, jei procesas gali pateisinti papildomą slėgio kritimą ir išlaidas.

Čia taikymo logika yra svarbesnė nei brošiūrų kalba.

Operacinės ir sveikatos priežiūros patalpos

ASHRAE 170 nustato, kad operacinių filtravimo bazinis lygis yra ne mažesnis kaip MERV 16, o tam tikrais ARBA atvejais, pavyzdžiui, ortopedinėmis procedūromis, transplantacijomis, neurochirurgija ir specialiomis nudegimo procedūromis, oro terminale reikia naudoti HEPA filtrus. Kitaip tariant, sveikatos priežiūros gairėse ULPA nelaikomas numatytuoju standartinio ARBA dizaino atsakymu. Net ir naudojant HEPA, tikslas yra infekcijos-rizikos kontrolė ir apsaugotas oro srautas chirurginiame lauke, o ne puslaidininkių{5}} lygio apsauga.

Taigi, kai pirkėjai sako, kad „chirurgijos patalpose naudojamas HEPA“, tai paprastai yra teisinga kryptis. Sveikatos priežiūros filtravimo tikslas yra didelis, tačiau jį lemia pacientų sauga ir procedūrinis oro srauto dizainas, o ne plokštelių procesų dalelių ir molekulinis jautrumas.

Puslaidininkiniai gaminiai ir pažangi elektronika

Puslaidininkiniai įrenginiai yra kitoks pasaulis. „Camfil“ puslaidininkių gairėse teigiama, kad gamyklos naudoja pilną filtravimą ir AMC{1}}kontrolinius tirpalus, kad sumažintų kietųjų dalelių ir molekulių koncentraciją iki ISO 1 klasės dalelių ir sub-ppb lygių, kad būtų išvengta molekulinės taršos ore. Jų elektronikos{5}}švarių patalpų plokštės siūlomos HEPA H14 ir ULPA U15, U16, U17, specialiai skirtos mikroelektronikos pramonei, ir su itin-mažai išmetamųjų dujų komponentais.

Štai kodėl pažangi lustų gamyba dažnai perkeliama už HEPA ir į ULPA, ypač kritinėse procesų zonose, įrankių mini{0}}aplinkose, litografijos srityse ar kitose gamyklos dalyse, kur mažesnės dalelės ir molekulinis užterštumas tiesiogiai veikia derlių. Praktiškas būdas tai pasakyti yra toks:

ligoninė saugo pacientus ir atlieka procedūras

drožlių medžiaga apsaugo derlių esant daug griežtesnei defektų ribai

Tas pats žodis: švarus. Labai skirtinga riba.

Tai viena iš detalių, kurios pasigenda daugelis ne{0}}elektronikos prekių pirkėjų.

Puslaidininkių švariose patalpose filtras negali būti traktuojamas kaip inertiška dėžė. Pats filtras gali tapti užteršimo šaltiniu, jei iš terpės ar komponentų išmetamos nepageidaujamos priemaišos arba molekuliniai teršalai.

1991 m. atliktame silicio mikroelektronikos tyrime nustatyta, kad ore esantis boro užterštumas buvo atsektas iki borosilikatinio stiklo didelio efektyvumo kietųjų dalelių oro filtruose. Vėlesnėse pramonės ataskaitose buvo pažymėta, kad tradiciniai stiklo-pluošto laikmenų tiekėjai sukūrė mažai-boro turinčius produktus ir šios terpės sulaukė pripažinimo rinkoje, reaguodamos į puslaidininkių reikalavimus.

Tai paaiškina, kodėl šiuolaikiniai elektronikos-klasės ULPA gaminiai pabrėžia mažo-boro, be priedų- arba itin-mažų dujų išskiriančių konstrukcijų. Viename dabartiniame mažo-boro ULPA produkte, skirtame sub-14 nm puslaidininkiams, teigiama, kad mažai -boro stiklo-pluošto medžiaga apsaugo nuo filtro{10}}pernešamo boro užteršimo, ir konkrečiai įspėja, kad boras standartinėje ULPA terpėje gali išsiskirti esant dideliam{11}}oro srautui ir nešvarumui. „Camfil“ pateikia panašų požiūrį kitu kampu, reklamuodama itin mažai dujų išskiriančius komponentus be priedų savo mikroelektronikos švarios patalpos plokštėse.

Jei jūsų projektas yra:

•vaflių gamyba

•litografija

•fotorezistinė danga / ekspozicija

•pažangi pakuotė

•mikroelektronikos įrankiai arba mini{0}}aplinkos

tada pokalbis turėtų apimti toliauULPA efektyvumasir apima:

• mažai{0}}boro turinčios medžiagos

•nemokama statyba su priedais-

• mažas{0}}organinių dujų išmetimas

•Suderinamumas su AMC{0}}valdymo strategija

Puslaidininkiniam oro filtravimui tai nėra prabangos prekė. Tai yra proceso apsaugos dalis.

Mūsų inžinieriai paprastai pradeda nuo programos, o ne nuo filtro klasės.

Pirmiausia užduodame keturis klausimus:

•Koks yra patalpos ar proceso zonos švaros tikslas?

• Ar procesas yra jautrus daugiausia biologinei naštai, dalelėms ar molekulinei taršai?

•Ar sistema gali sugerti didesnį slėgio kritimą, kuris paprastai būna su sandaresniais filtrais?

•Ar projektas skirtas sveikatos priežiūrai/farmacijai, ar mikroelektronikai/puslaidininkiams?

Neseniai padėjome klientui iš Pietryčių Azijos, kuris iš pradžių prašė U15 viso projekto metu, nes jų komanda manė, kad „aukštesnis įvertinimas reiškia saugiau“. Paaiškėjo, kad ULPA reikia tik kritinėms mikroelektronikos procesų sritims. Pagalbinės sritys gali likti HEPA{3}}klasės terminalo filtravimu. Šis pakeitimas sumažino ir ventiliatorių naštą, ir filtro biudžetą, nesusilpnindamas faktinės proceso{5}}rizikos kontrolės.

Paprastai tai yra teisingas požiūris. Naudokite ULPA ten, kur ji išsprendžia tikrą problemą. Neskleiskite jo visur, nebent procesui to tikrai reikia.

Prieš užbaigdami specifikaciją, patikrinkite šiuos dalykus:

Standartas: EN 1822 / ISO 29463, o ne bendrieji-vėdinimo standartai

Klasė: H13, H14, U15, U16 arba U17, atsižvelgiant į proceso poreikį

Efektyvumo pagrindas: MPPS ir paskelbtas integruotas efektyvumas

Pradinis slėgio kritimas: suderintas su ventiliatoriumi, FFU arba gnybtų moduliu

Taikymas: chirurgija / sveikatos priežiūra, farmacija, puslaidininkių ar įrankių aplinka

Terpės rizika: standartinė stiklo terpė, mažai{0}}boro turinčios stiklo terpės arba membraninė medžiaga be priemaišų{1}}

Konstrukcija: mažai{0}}išskiriantys dujas komponentai, jei naudojami elektronikos aplinkoje

Nesandarumo tikrinimas: individualiai nuskaitoma{0}}, kai to reikalauja programa